金融界2025年7月2日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板加工装置、基板加工方法和制造装置”的专利，公开号CN120236981A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种基板加工装置、基板加工方法和制造装置。具体公开了一种用于加工基板的装置，该装置包括：腔室，该腔室提供加工空间；电极单元，该电极单元用于在加工空间中产生第一等离子体，并且电极单元具有对置电极；线圈单元，该线圈单元位于加工空间的上侧，并且线圈单元用于产生供应到加工空间中的第二等离子体；以及远程等离子体单元，该远程等离子体单元用于向加工空间供应基团。
来源：金融界
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